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LSIを塵から守る

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LSIを塵から守る

クリーンルーム

LSIや超LSIなどの半導体集積回路の製造には、さまざまな高性能機械装置が使われています。

そして、これらの装置のすべての操作は、塵が全くないと言っていいほどの清浄な部屋(クリーンルーム)の中で行われています。


超LSIでは、ほんの小指の爪ほどのシリコン基板のうえに何十万個もの小さい素子を焼き付けます。そのため素子や素子と素子の間隔のサイズは、実にミクロン(1ミリの1000分の1)程度の極微になります。

だから、超LSIの製造工程にとっては数ミクロンの塵でさえも巨大な障害物です。たとえ極小の塵でも基板のうえに落ちたら、その超LSIは欠陥品になってしまいます。 そのために、クリーンルームがあるのです。

クリーンルームを守る

クリーンルームに入る時、ナイロン製の服を着て、深々と帽子をかぶり、その上、ゴミ落としの空気シャワーを通り抜けるという様子を、写真などで目にすることがありますか。

それは不良品発生の原因となる超微細な塵をシャットアウトするための対策の一つです。こうした対策の中に、移載ロボットのネジカバー装備があります。ジャバラは、現在この分野で大いに活躍しています。


ジャバラのネジカバーの特長は

1.材質 クリーン度の要求を満たす材料、環境にやさしい材料を使用しています。ウレタンシート、オレフインシート等)
特殊オレフインシートは焼却時に二酸化炭素(CO2)の発生を押えています。
また、ダイオキシンの発生要因である塩化水素ガスの発生もありません。
2.加工法 いままでクリーン度を維持するためには採用できなかった接着剤やミシンによる加工を、溶着加工を実現することによって解決
3.耐久性 高伸縮比率設計により無理のない山数を設定できすぐれた耐久性を確保

などがあげられます。

半導体製造プロセスを支えるクリーンルームでも、ジャバラの技術が新たな活躍の場を得て、エレクトロニクス時代の一翼を担う確かな力となっているのです。